光配向露光はほとんどがワイヤーグリッドによるフィルターによって造られています。
紫外線光によって偏光板や位相差板などの素子が破壊されてしまうためです。
ワイヤーグリッドフィルタには以下の特徴があります。
- 波長に関わりなく単偏光の光を透過する。
- 透過率は紫外線で80%程度であるため、単偏光の光は40%だけを露光のエネルギーとして使い残りの60%はロスです
- PSコンバーターは仕様波長帯のみをPS分離し、さらに位相差版によって任意の角度に揃えることができます。従って、捨てる光エネルギーはほとんどなく、従来の2倍以上のエネルギー効率が得られます。
- 長尺の高圧水銀に対して装置できるため、照度ムラなく1800mm(第6世代ディスプレイ)の長さでも露光が可能です。